OMAL撥叉式氣動執(zhí)行器在半導體制造行業(yè)反滲透工藝上的解決方案
作者： 得銳自動化發(fā)表時間：2023-10-07 13:54:17瀏覽量：337【小中大】
氣動執(zhí)行器是一種廣泛應用于各種工業(yè)領域的設備，而在半導體制造行業(yè)反滲透工藝中，它也扮演著重要的角色。下面，我們就來探討OMAL撥叉式氣動執(zhí)行器在半導體制造行業(yè)反滲透工藝上的解決方案。
了解一下半導體...
氣動執(zhí)行器是一種廣泛應用于各種工業(yè)領域的設備，而在半導體制造行業(yè)反滲透工藝中，它也扮演著重要的角色。下面，我們就來探討OMAL撥叉式氣動執(zhí)行器在半導體制造行業(yè)反滲透工藝上的解決方案。
了解一下半導體制造行業(yè)反滲透工藝的背景。在半導體制造過程中，超純水是不可或缺的。而反滲透工藝是一種常用的水處理技術，可以有效去除水中的微粒、離子、有機物等雜質(zhì)，從而得到超純水。反滲透工藝需要精密的控制系統(tǒng)來確保產(chǎn)水的質(zhì)量。
氣動執(zhí)行器在半導體制造行業(yè)反滲透工藝上的應用廣泛且深入。半導體設備制造廠在日常生產(chǎn)中需要大量用水，從晶圓制造過程到設施和一般公用事業(yè)的各種應用都需要水的支持。然而，為了確保高純度水的供應，同時考慮到全球范圍內(nèi)日益突出的水資源問題，反滲透工藝在半導體制造行業(yè)中的地位愈發(fā)重要。
反滲透是一種制備高純度水的主要處理過程，它利用半透膜的特性，在壓力的作用下，將水分子和小的溶質(zhì)分子從一側通過膜向另一側遷移，從而去除水中的溶解鹽類、有機物等雜質(zhì)，得到純度極高的水。在半導體制造過程中，這種高純度水被廣泛應用于以下方面：
1. 過程冷卻水（PWC）：在半導體制造過程中，許多設備需要使用冷卻水來保持工作溫度，例如在化學機械拋光（CMP）工藝中，就需要用冷卻水來控制拋光頭的溫度。
2. 高純、晶圓清洗：高純度水在晶圓清洗過程中起著至關重要的作用，它可以將晶圓表面的污垢、塵埃、雜質(zhì)等清洗干凈，保證產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
3. 處理廠：處理廠是半導體制造過程中負責廢水回收和處理的部分，使用高純度水可以更有效地進行廢水處理和回收利用。
除了上述應用外，OMAL撥叉式氣動執(zhí)行器在半導體制造行業(yè)的反滲透工藝中還有其他的應用，包括去離子水工廠等。這些應用都得益于反滲透工藝的高效和高純度水制備能力，以及OMAL撥叉式氣動執(zhí)行器在控制和調(diào)節(jié)反滲透系統(tǒng)方面的優(yōu)秀表現(xiàn)。
OMAL撥叉式氣動執(zhí)行器還具備良好的防爆性能和防火性能，可以在危險環(huán)境中安全使用。這對于半導體制造行業(yè)來說是非常重要的，因為半導體制造過程中使用的化學物質(zhì)和高溫環(huán)境可能會引發(fā)爆炸和火災等危險。
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